清华大学电子科学与技术考博复试面试问题主要围绕专业基础、科研能力、学术规划及综合素质展开，近年真题呈现以下特点：专业问题占比约40%，科研经历考核占35%，个人陈述与学术规划占20%，英语能力及综合素质占5%。其中，专业问题重点考察《固体物理》《半导体器件物理》《集成电路设计》等核心课程，高频考点包括pn结击穿机制、MOSFET阈值电压影响因素、光刻工艺技术演进等。科研经历提问注重成果转化逻辑，常问"你设计的纳米线阵列制备方法解决了什么工程难题？""如何通过仿真优化将芯片能效提升15%"等具体技术细节。学术规划类问题近年新增交叉学科融合要求，如"如何将机器学习算法应用于半导体材料缺陷检测"等。英语考核采用专业文献速读（平均5分钟/篇）与学术对话（3分钟即兴演讲），2023年新增英文专利撰写能力测试。综合素质评估突出学术诚信，曾出现"如果实验数据出现异常波动你会如何处理"的情景模拟题。建议考生构建"三维知识树"：纵向梳理半导体器件物理、集成电路设计、光电子技术等课程体系；横向打通器件仿真（COMSOL/Simulink）、工艺建模（Sentaurus）、测试方法（SPICE）等技术链条；立体化整合文献研读（近三年Nature Electronics、IEEE TED）、专利分析（智慧芽平台）、技术转化（中芯国际/华为海思案例）等实战能力。特别注意2024年新增"双碳目标下的半导体材料绿色制备技术"考核方向，需掌握SiC/SiGe等第三代半导体器件的制备工艺与环境影响评估方法。